然而砷化铟镓制作的22纳米晶体管有一个非常不好的消息，那就是再这样的尺度之下，它的性能会恶化，这一点来自于氧化物捕获，电脉冲在通过砷化铟镓制作的晶体管时，如果保持一个较低的频率，来自氧化物的捕获会让电子的性能下降，然而解决办法也很简单，就是提高电脉冲通过晶体管的频率。
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